| Oil based Dispersant for Diamond Slurry |
| 사파이어는 알루미나(Al2O3)가 2050℃ 이상에서 단결정으로 성장된 결정체로 빛의 투과성이 가장 뛰어난 광학 특성, 세라믹 소재 중에서 금속과 비슷한 우수한 열전도, 저온 및 고온 안정성, 다이아몬드 다음으로 경도(Mohs 9)가 높은 우수한 기계적 성질로 반도체 회로기판, 반도체 장비 부품, 광학 및 레이저 부품 등에 적용하고 있으며, 특히 TV 및 조명용 LED(발광다이오드) 기판용 핵심 소재인 사파이어 웨이퍼는 수요량 급증으로 경쟁적으로 발달하고 있는 고성장 분야로 향후 가전수요 회복으로 LED TV 시장의 본격화와 일반 조명시장의 성장에 따른 수요가 증가할 것으로 전망된다. |
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| 제품명: DSF-287HM |
DSF-287HM은 LED 제조공정에 사용되는 사파이어(Sapphire) 웨이퍼의 표면을 Polishing 할 때 사용하는 Diamond Slurry용 유성유체로 Hydrocarbon계 Normal Paraffin을 주성분으로 한다.
3㎛ ~ 6㎛ Diamond 분말을 0.4% 분산시킨 Slurry를 표면에 기공(pore)이 있는 동(Cu)판에 분사하여 Diamond 분말이 기공에 들어가서 사파이어(Sapphire) 웨이퍼와 접해 있는 표면을 연마하며 Diamond 분말의 분산성과 cut rate (removal rate) 가 우수하다. 특히 DSF-287HM은 고점도의 분산유체로 Naphthene oil을 주성분으로 하며 Diamond의 분산성 및 Anti-Settling 효과가 우수하다. |
| 물리적 특성 |
| 항목 |
DSF-287HM |
시험방법 |
| 주 성 분 |
Naphthene oil |
FT-IR spectrometer |
| 외관 |
Yellowish Viscous Liquid |
육안검사 |
| 비중 (at 20℃) |
0.82 ~ 0.83 |
Hydrometer |
| 점도 (at 20℃) |
8 ~ 12 |
주)1 |
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| 주)1: Brookfiled Viscometer (DV-Ⅱ+Pro, Spindle No. 2, 20rpm) |
